微納製造先進材料研究團隊
Research Team For Advanced Micro- Nano-Fabrication Materials
一🤚🏼、團隊介紹
“微納製造先進材料研究團隊”成立於2019年，是一支以微納製造新材料在集成電路♕、寬禁帶半導體、光電與顯示交叉學科的創新團隊。由國家級人才孫韜教授領銜組成，依托於意昂2。科研團隊成員包括國家級人才1人👰🏼♂️🤶🏿，省部級人才1人，揚帆計劃1人，多位老師有海外學習和工作的經歷，曾承擔或參與過國家自然科學基金項目、國家自然科學基金青年項目、國家科技重大專項、上海市自然基金項目、上海市納米重大專項、江蘇省重大成果轉化項目和江蘇省科技支撐項目等👉。並在<Science>、<Nature>等國際知名頂級學術期刊上公開發表過代表性高水平科研論文。團隊成立至今共計發表論文25篇🧖🏼♂️；申請專利多項，其中獲授權發明專利17項；獲批國家級以及上海市縱向科研項目共計98萬元，簽約橫向科研項目共計718.5萬元🫎，獲省部級二等獎2人次。
二♢😵💫、團隊研究方向
團隊以摩擦催化為核心技術與創新基礎🥻，聚焦微納製造產業，尤其是第三代半導體材料的超精密加工，圍繞微納製造CMP拋光材料🙅🏼♀️、材料表面微納結構處理、微納智能製造研究方向創建微納製造新材料交叉學科。通過超精密加工特性，引入原位功能場🧑🏽🎄，引領創新超精密製造用材料的多功能化🏝。團隊主要致力於：
1.先進微納材料合成🧚🏻；
2.微納製造CMP拋光材料；
3.材料表面微納結構處理；
4.柔性可穿戴電子傳感器件與儲能器件🐱🐾；
5.摩擦化學、摩擦催化工程等相關的研究💯💂♂️。
三、團隊主要成員
1 |
/a0/49/c19693a172105/page.htm | 孫韜 教授（碩導） 電子郵箱：04190006@sues.edu.cn 1993年美國夏威夷大學博士畢業，1996年於美國麻省理工意昂2化學系完成博士後相關工作。曾任職於金陵石化、美國陶氏化學中心研究院以及美國嘉博微電子公司從事催化、納米復合材料♿👨🏼🦳、超精密製造用拋光液方面的研究與產業化🏊🏿♂️。2007年至今被南京航空航天大學新材料意昂2聘為特聘教授。於2009年獲得國家級榮譽及獎勵； 2019年受意昂2官网特聘入職於意昂25️⃣，2022 年評為俄羅斯自然科意昂2外籍院士，主要從事微納製造先進材料、摩擦催化工程、智能檢測儀器設備以及超精密製造工藝等方面的研究📼；在Nature👨🏿🔬、Chemical Reviews⬜️⚜️、Science、Advanced Materials2️⃣、Angew. Chemie,🩶、Materials Science in Semiconductor Processing等著名期刊發表論文數篇，國際📕、國內授權發明專利20多項。承擔並主持國家自然科學基金面上項目👳🏼♀️、江蘇省重大成果轉化、江蘇省“六大人才”高峰等項目；參與了美國NIST 支持的Dow Chemical/Magna Joint ATP、DOE的Research Needs Assessment on Nanostructured Catalysts等項目。 |
2 |
/e1/95/c19693a188821/page.htm | 張澤芳 副研究員（碩導） 電子郵箱：zfzhang@fudan.edu.cn 2011年中科院上海微系統與信息技術研究所博士畢業，2019年入職意昂2✧⭕️，主要從事化學機械拋光等方面的研究；在ECS Journal of Solid State Science and Technology、Microelectronic Engineering💇♀️、Jounral of the Electrochemical Society,、Applied Surface Science等著名期刊發表論文數篇，授權發明專利多項🎡。承擔並主持國家自然科學青年基金、上海市科技型中小企業技術創新基金等縱向科研項目😮💨；參與了國家科技重大專項，上海市納米重大專項等項目。 |
3 |
| 江振林 高級實驗師 （碩導） 電子郵箱：jiang06150112@163.com 2017年東華大學材料意昂2博士畢業🧑🏼🔬，2018年入職意昂2⚛️，主要從事功能高分子（阻燃、可降解）設計與應用、高性能特種塗層與膜材料、基於工藝數據仿真的智能製造（化工👰🏽♀️、紡織、 機械）⚠；在Applied Surface Science，Carbohydrate Polymers🧑🏻🦼，Journal of Applied Polymer Science，合成纖維工業𓀝，材料導報等發表論文9篇🧗🏿♀️，授權發明專利7項，承擔國防科工委、國防創新特區、上海市“揚帆計劃”🌄、教育部重點實驗室基金等縱向科研項目5項🏭，主持企業委托科研項目6項🍥；參與了“國家科技重點研發計劃”項目和工信部“智能製造”項目🧏🏽♂️。相關成果獲得2018年福建省科技進步二等獎🧙🏻，2021年湖南省科技進步二等獎©️。 |
4 |
/71/da/c19693a225754/page.htm | 陳佳鵬 講師（碩導） 電子郵箱：34210007@sues.edu.cn 2021年博士畢業於南京航空航天大學，2021年入職意昂2近5年來圍繞磨料製備、半導體表面平坦化與監測，研發新型復合磨料並應用於集成電路和光伏半導體的切割和光整加工，與昆山傑冉🏗👂、寧波日晟🔚、天長昱晟♨️、無錫斯達均保持產學研合作🤦🏼♂️。主持省市級或企業項目5項☆，支持國家自然科學基金重點項目在內的國家級、省部級項目9項，總經費1500余萬元；以第一/通訊作者發表一區SCI論文16篇，被引178次🙋🏼♀️；申請中國發明專利13件，已授權5件，成果轉化2件，直接金額165萬元🤦🏻，登記中國軟件著作6件👨👨👦；曾獲中國機械工程學會“上銀優博特別獎”等科研獎勵2項🥩，“挑戰杯”上海賽區銀獎“優秀指導教師”等個人榮譽2項。兼任“江蘇省精密與微細製造技術重點實驗室”客座研究員和寧波日晟新材料有限公司研發總監。 |
5 |
| 王寶秀 副教授（碩導） 電子郵箱🏐：wangbaoxiu@sues.edu.cn 2019年畢業於東華大學材料意昂2📢，荷蘭內梅亨大學聯合培養博士🍩，東華大學博士後；主要致力於高分子材料的結構設計、製備技術體系構建及在生物醫用、半導體♾、智能可穿戴領域的應用研究；主持國家自然科學基金青年基金項目1項👂🏻、中國博士後科學基金特別資助項目1項；獲中國紡織工業聯合會科技進步二等獎1項𓀄🧝🏿♀️；以第一或通訊作者在Nano Energy、Acta Biomaterialia、Carbohydrate Polymers等期刊上發表論文14篇，獲授權發明專利5項。 |
三、團隊研究成果
承擔科研項目
寧波日晟新材料有限公司“固結磨料高效低損光整SiC晶圓的非水基拋光液研發”, 200
，2021-2026年，主持🛬；
大連正興磨料有限公司“碳化硼拋光液的研發”👩🏽⚖️，150萬，2021-2026年，主持🕎；
國家自然科學（面上）“摩擦催化增強自銳性固結磨粒拋光墊高效無損拋光SiC單晶基礎研究”，58萬，2021-2024年🧑🏻🚀，主持；
國家自然科學（青年）“促尿道修復細菌纖維素基雙層仿生支架的構建及評價”🩲🧚🏿♀️，16萬，2021-2022年，主持；
上海市科委❕，揚帆計劃項目“低毒低煙聚酯纖維的設計與製備應用”，20萬💆🏿♂️👩👦👦，2019-2022年，主持；
南方寢飾科技有限公司“健康睡眠智能纖維及功能紡織品的開發”，100萬，2020-2021年, 主持☝🏽。
上海多綸化工有限公司“功能性纖維配套紡絲油劑的研究與應用”🔫， 30萬，2019-2022年，主持😗；
無錫索力得科技發展有限公司“差別化滌綸工業絲的開發”，15萬，2019 -2020年，主持；
上海市科技型中小企業技術創新項目“新型藍寶石拋光液的設計製備及產業化”，20萬，2017-2018年，主持🏆；
國家自然科學（青年）“新型LED藍寶石襯底拋光液設計及其拋光機理研究”，24萬👮🏿♀️，2013-2015年，主持🧑🏿🎤🍕；
江蘇重大成果轉化項目“高清液晶顯示屏表面超精密加工用納米拋光材料的研發及產業化”，1400萬，2012-2014年，主持；
NIST(美國國家標準與技術研究院)Dow Chemical/Magna Joint ATP Program ”Automotive Nanocomposites （汽車納米復合材料）”, $7.5M, 1998-2001年，參加🧑🏿🏫；
DOE（美國能源局）”Research Needs Assessment on Nanostructured Catalysts （納米機構催化劑的評估與展望）”💵，$500K, 1995-1996年，參加🔷。
代表論文
Mechanistic difference between Si-face and C-face polishing of 4H–SiC substrates in aqueous and non-aqueous slurries. Ceramics International, 2023, 49:7274-7283.
Super hard and brittle material removal mechanism in fixed abrasive lapping: Theory and modeling. Tribology International, 2023, 184: 108493
Multi-strand Fibers with Hierarchical Helical Structures Driven by Water or Moisture for Soft Actuators. ACS Omega, 2023 8 (2), 2243-2252🟡，DOI: 10.1021/acsomega.2c06487
Preparation and Mechanism of Bio-Based Sodium Alginate Fibers with Flame Retardant and Antibacterial Properties. Polymers 2023, 15, 154.
A 3D-printable TEMPO-oxidized bacterial cellulose/alginate hydrogel with enhanced stability via nanoclay incorporation[J].Carbohydrate Polymers, 2023,238.DOI:10.1016/j.carbpol.2020.116207.
High efficiency polishing of silicon carbide by applying reactive non-aqueous fluids to fixed abrasive pads, Ceramics International, 2022, 48(5): 7273-7282.
Surface acidity of colloidal silica and its correlation with sapphire surface polishing, Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, 2022, 651:129718.
Accelerated C-face polishing of silicon carbide by alkaline polishing slurries with Fe3O4 catalysts, Environmental Chemical Engineering, 2021, 9: 106863
In-situ manifestation of lapping mechanisms by rapid intelligent pattern recognition analysis (RIPRA) of acoustic emission via a point density fuzzy C-means (PD-FCM) method, Manufacturing Processes, 2022, 79: 924-933.
A self-assembled bio-based coating with phytic acid and DL-arginine used for a flame-retardant and antibacterial cellulose fabric[J].Progress in Organic Coatings: An International Review Journal, 2022.
Tribological effects of loose alumina abrasive assisted sapphire lapping by a fixed agglomerated diamond abrasive pad (FADAP), Materials Science in Semiconductor Processing, 2022, 143: 106556.
Salinity power generation based biocompatible bacterial cellulose/MXene membrane for biological power source[J]. Nano Energy,2022,102.
Electrostatic Self-Assembled Composite Abrasives for Chemical Mechanical Polishing of A-Plane Sapphire[J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology,2021,10(11).
Thin SAPO-34 zeolite membranes prepared by ball-milled seeds[J]. Separation and Purification Technology,2021,274.
Reproducible synthesis of all-silica CHA zeolite membranes in a homogeneous mother liquor[J].Separation and Purification Technology,2021,274.
Urethra-inspired biomimetic scaffold: A therapeutic strategy to promote angiogenesis for urethral regeneration in a rabbit model[J].Acta biomaterialia, 2020, 102.DOI:10.1016/j.actbio.2019.11.026.
High-Performance Polypropylene±Clay Nanocomposites by In-situ Polymerization with Metallocene_Clay Catalysts, Advanced Materials, 2002, 14(2): 128-130
Synthesis of Microporous Transition-Metal-Oxide Molecular Sieves by a Supramolecular Templating Mech, Nature, 1997, 389(6652): 704-706.
Silver Clusters and Chemistry in Zeolites, Chemical Reviews, 1994, 94(4): 857-870.
A Catianic Cesium Continuum in Zeolite X, Science, 1993, 259(5094): 495-497.
專利知識產權
軟件著作權：
江振林. 紡織面料生產工藝優化系統V1.0, 2019SR1075783.
江振林. 紡織面料在線感知品質檢測軟件V1.0, 2019SR1075787.
江振林. 柔性定製面料開發系統V1.0, 2019R1076866.
發明專利：
孫韜，王漢強🧎♀️，步崢崢🩴👼🏽，王雪含🚣🏽♀️；用於碳化矽晶片矽表面化學機械拋光的拋光液及拋光方法🤞🏻，ZL202111020197.1🍅；
孫韜；高效無劃傷玻璃拋光液及其生產方法👶，ZL200910031539.2；
孫韜；高效高精度藍寶石拋光液及其製備方法，ZL200810020779.8🐇；
SUN TAO；MEDSKER ROBERT；CMP composition comprising surfactant，US 7,524,347 B2；
CHANEYALEW ATENAFU N🧠；SUN TAO；Mixed-abrasive polishing composition and method for using the same, US 6,896,591 B2；
SUN TAO；WILSON DAVID R；GARCES JUAN M🤦🏼；Ion exchanged aluminum-magnesium silicate or fluorinated magnesium silicate aerogels and catalyst supports therefrom, US 6,376,421 B2；
張澤芳👉🏿，張文娟𓀗；納米二氧化鈰及其製備方法，ZL201711070720.5➗；
張澤芳👍🏿，劉衛麗🤳🏽，宋誌棠；一種用於藍寶石襯底的化學機械拋光液及其應用𓀝，ZL201110433696.3；
張澤芳🤖，劉衛麗🪰，宋誌棠🚣🏼♂️；氧化矽-氧化鈰核殼復合磨料顆粒及其製備和應用，ZL201010106871.3；
張澤芳，劉衛麗，宋誌棠🤵♂️；一種氧化矽/氧化鈰復合磨粒的製備方法👇🏽，ZL200910196101.X；
江振林,饒品華,金亮,李利紅,朱敏,胡優賢,崔亞慧,於運歌. 一種高磷含量耐水解阻燃劑及其製備方法. CN 201910747396.9🐛；
江振林,饒品華,金亮,李利紅,朱敏,胡優賢,崔亞慧,於運歌. 一種阻燃材料的製備方法. CN 201910747307.0；
江振林,徐曉彤,朱敏,金亮,王金果,王錦成,宋仕強.一種低毒低煙聚酯纖維用阻燃母粒及其製備方法. CN 202019357927.0✈️；
江振林, 王朝生, 王華平, 季誠昌, 吉鵬, 劉啟富. 一種防汙阻燃防熔滴聚酯及其製備方法, ZL 201410768991.8.
江振林, 王朝生, 王華平, 李建武, 季誠昌, 吉鵬. 一種防汙阻燃防熔滴多功能共聚酯纖維及其製備方法, ZL 201410767791.0.
江振林, 王朝生, 王華平, 季誠昌, 劉啟富. 一種防汙阻燃防熔滴聚酯纖維及其製備方法, ZL 201410767794.4.
江振林, 王朝生, 湯廉, 王華平, 季誠昌, 晉縉. 一種防汙阻燃防熔滴多功能共聚酯及其製備方法,ZL 201410767795.9.
江振林, 王朝生, 王華平, 季誠昌. 一種自阻燃防火疏水木板的製備方法,ZL 201410311963.3.
江振林, 王朝生, 王華平, 季誠昌. 一種遠紅外發射耐高溫透明廚衛塗料及其製備方法, ZL 201410476380.6.
江振林, 黃長喜, 周煒. 一種中性墨水用水溶性乳化保濕潤滑劑及其製備方法, ZL 201410072986.3.
成果獲獎
諶建國🧎🏻，魯傳旺，陳阿斌，江振林🧑🏼🔬，王朝生🧙🏿，葉敬平🧛🏿♀️，許民川. 大容量熔體直紡超細旦滌綸長絲工程技術的開發. 2018年福建省科技進步二等獎；
彭治漢，江振林🫱🏼，易春旺，王朝生，吉鵬，彭治權，何小春👩🌾，彭維禮，彭誌宏。高效低鹵
析出聚合物用阻燃劑關鍵技術開發與應用，2021年湖南省科技進步二等獎；
王華平，吉鵬🤽♀️，江振林，唐曉峰🍁，徐毅明，謝偉🍋🟩，余子涯，朱敏，王朝生，王金果。纖維用功能母粒設計與製備關鍵技術🧔🏻♀️𓀎，2022年上海市技術發明二等獎🧞♂️；
四、團隊人才培養
團隊培養研究生多名🆓，其中已畢業碩士研究生17人，指導的學生中湧出一批優秀學生，曾獲意昂2官网“優秀學生幹部”、“優秀共青團幹部”、“優秀學生幹部標兵”等榮譽稱號。團隊註重培養學生創新和實踐能力🤸♀️🖇，鼓勵學生積極參與互聯網+、挑戰杯等科技競賽活動〰️，曾獲得第十三屆“挑戰杯”中國大學生創業計劃競賽上海市銀獎，意昂2官网“互聯網+”創新創業大賽二等獎👌🏼，中國紡織工業聯合會優秀學術論文獎等。
五、團隊學術活動
孫韜教授和南京航空航天大學左敦穩教授共同舉辦、主持“2023廣富林國際半導體材料與超精密加工論壇”🐌，特邀國內外著名專家🐀，大連理工大學康仁科教授🎪👷♂️、南方科技大學張壁教授、上海交大陳明教授等專家作大會報告，以“半導體材料及超精密加工”為主題◻️，探討新一代芯片製造👨🏼🌾#️⃣、納米級工藝、3D集成、先進封裝等技術創新。論壇的成功舉辦提升了我校在半導體材料與超精密加工領域的影響力👏🏼，為半導體產業的發展提供一個廣泛的交流平臺，推動了全球半導體產業的發展。